Монокристаллическая пластина M4 P-типа составляет 161,7 мм x 161,7 мм.
![]()



1 Свойства материала
свойство | спецификация | Метод контроля |
Метод роста | ЧР | |
Кристалличности | Монокристаллический
| Предпочтительные методы травливания(АСТМ Ф47-88) |
Тип проводимости | дырочный | Напсон EC-80TPN П/Н |
Допант
| Бор, галлий
| - |
Концентрация кислорода[Oi] | ≦8E+17 ат/см3 | ФТИР (ASTM F121-83) |
Концентрация углерода [Cs] | ≦5E+16 ат/см3 | ФТИР (ASTM F123-91) |
Плотность травилочные ямы (плотность дислокации) | ≦500 см-3 | Предпочтительные методы травливания(АСТМ Ф47-88) |
Ориентация поверхности | <100>±3°100> | Метод дифракции рентгеновских лучей (ASTM F26-1987) |
Ориентация псевдоквагоров | <010>,<001>±3°001>010> | Метод дифракции рентгеновских лучей (ASTM F26-1987) |
2 Электрические свойства
свойство | спецификация | Метод контроля |
удельное сопротивление | 0,5-1,5 Ом см | Система контроля пластин |
MCLT (срок службы миноритарного перевозчика) | ≧50 мкс | Синтон BCT-400 (с уровнем впрыска: 1E15 см-3) |
3 геометрия
свойство | спецификация | Метод контроля |
геометрия | Квазиквадро | |
Длина стороны пластины | 161.7±0.25 мм | система контроля пластин |
Диаметр пластины | φ221±0.25 мм | система контроля пластин |
Угол между соседними сторонами | 90° ± 0.2° | система контроля пластин |
толщина | 180﹢20/﹣10 мкм; 170﹢20/﹣10 мкм | система контроля пластин |
TTV (Изменение общей толщины) | ≤27 мкм | система контроля пластин |

4 Свойства поверхности
свойство | спецификация | Метод контроля |
Метод резки | Д.У. | -- |
Качество поверхности | в виде разрезания и очистки, без видимых загрязнений (масло или жир, отпечатки пальцев, мыльные пятна, пятна навозной жижи, пятна эпоксидной смолы / клея не допускаются) | система контроля пластин |
Следы пилы / ступени | ≤ 15 мкм | система контроля пластин |
лук | ≤ 40 мкм | система контроля пластин |
основа | ≤ 40 мкм | система контроля пластин |
чип | глубина ≤0,3 мм и длина ≤ 0,5 мм Макс 2 / шт; без V-чипа | Невооруженным глазом или система контроля пластин |
Микро трещины / отверстия | Не допускается | система контроля пластин |
горячая этикетка : p тип 161,7 мм монокристаллическая солнечная пластина, Китай, поставщики, производители, завод, сделано в Китае









