【Премьера продукта】
СВОЙСТВА МАТЕРИАЛА
параметр | Характеристика | Метод контроля ASTM |
Тип / легирующей | P, бор N, фосфор N, сурьма N, мышьяк | F42 |
ориентации | <100>, <111> вырезать ориентации в соответствии с требованиями заказчика | F26 |
Содержание кислорода | 10 19 ppmA Пользовательские допуски по спецификации заказчика | F121 |
Содержание углерода | <0,6> | F123 |
Диапазоны удельного сопротивления - P, бор - N, фосфор - N, сурьма - N, мышьяк | 0,001 - 50 Ом · см | F84 |
МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
параметр | простое число | Монитор / Тест А | Тестовое задание | Метод ASTM |
Диаметр | 150 ± 0,2 мм | 150 ± 0,2 мм | 150 ± 0,5 мм | F613 |
толщина | 675 ± 20 мкм (стандарт) | 675 ± 25 мкм (стандартно) 450 ± 25 мкм 625 ± 25 мкм 1000 ± 25 мкм 1300 ± 25 мкм 1500 ± 25 мкм | 675 ± 50 мкм (стандарт) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Лук | <30> | <30> | <50> | F657 |
Заворачивать | <30> | <30> | <50> | F657 |
Закругление края | ПОЛ-STD | F928 | ||
маркировка | Первичная только SEMI-Flat, SEMI-STD Квартиры Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ
параметр | простое число | Монитор / Тест А | Тестовое задание | Метод ASTM |
Критерии лицевой стороны | ||||
Состояние поверхности | Химическая механическая полированная | Химическая механическая полированная | Химическая механическая полированная | F523 |
Шероховатость поверхности | <2> | <2> | <2> | |
Загрязнение, частицы @> 0,3 мкм | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Дымка, ямы, апельсиновая корка | Никто | Никто | Никто | F523 |
Видел следы, страты | Никто | Никто | Никто | F523 |
Критерии обратной стороны | ||||
Трещины, гусиные лапки, пильные следы, пятна | Никто | Никто | Никто | F523 |
Состояние поверхности | Едкий травленый | F523 | ||
Description Описание продукта 】
Идеально подходит для микрофлюидики. Для приложений микроэлектроники или MEMS, пожалуйста, свяжитесь с нами для получения подробной спецификации.
Полупроводниковые устройства продолжают сжиматься, и для пластин становится все более важным иметь высокое качество поверхности как на передней, так и на задней стороне. В настоящее время эти пластины наиболее распространены в микроэлектромеханических системах (MEMS), соединении пластин, изготовлении кремния на изоляторе (SOI) и в приложениях с жесткими требованиями к плоскостности. Микроэлектроника признает эволюцию полупроводниковой промышленности и стремится найти долгосрочные решения для всех потребностей клиентов.
Большой запас двухсторонних полированных пластин во всех диаметрах от 100 до 300 мм. Если ваша спецификация отсутствует в нашем инвентаре, мы установили долгосрочные отношения с многочисленными поставщиками, которые способны изготовить пластины на заказ, чтобы соответствовать любым уникальным спецификациям. Двухсторонние полированные пластины доступны в кремнии, стекле и других материалах, обычно используемых в полупроводниковой промышленности.
В соответствии с вашими требованиями также доступны индивидуальные нарезки и полировки. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.
Features Особенности продукта 】
· 6 "тип P / N, полированная кремниевая пластина (25 шт.)
· Ориентация: 150
· Удельное сопротивление: 0,1 - 40 Ом · см (может варьироваться от партии к партии)
· Толщина: 675 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
горячая этикетка : 6-дюймовая (150мм) пластина, Китай, поставщики, производители, завод, сделано в Китае
