【Премьера продукта】
СВОЙСТВА МАТЕРИАЛА
параметр | Характеристика | Метод контроля ASTM |
Тип / легирующей | P, бор N, фосфор N, сурьма N, мышьяк | F42 |
ориентации | <100>, <111> вырезать ориентации в соответствии с требованиями заказчика | F26 |
Содержание кислорода | 10 18 ppmA Пользовательские допуски по спецификации заказчика | F121 |
Содержание углерода | <0.5 ppma="" пользовательские="" допуски="" по="" спецификации=""> | F123 |
Диапазоны удельного сопротивления - P, бор - N, фосфор - N, сурьма - N, мышьяк | 0,001 - 50 Ом · см | F84 |
МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
параметр | простое число | Монитор / Тест А | Тестовое задание | Метод ASTM |
Диаметр | 100 ± 0,2 мм | 100 ± 0,2 мм | 100 ± 0,5 мм | F613 |
толщина | 525 ± 20 мкм (стандарт) | 525 ± 25 мкм (стандарт) 381 ± 25 мкм 625 ± 25 мкм 700 ± 25 мкм 800 ± 25 мкм 1000 ± 25 мкм 1500 ± 25 мкм | 525 ± 50 мкм (стандарт) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Лук | <30> | <30> | <40> | F657 |
Заворачивать | <30> | <30> | <40> | F657 |
Закругление края | ПОЛ-STD | F928 | ||
маркировка | SEMI-STD Квартиры, только первичные SEMI-Flat | F26, F671 | ||
КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ
параметр | простое число | Монитор / Тест А | Тестовое задание | Метод ASTM |
Критерии лицевой стороны | ||||
Состояние поверхности | Химическая механическая полированная | Химическая механическая полированная | Химическая механическая полированная | F523 |
Шероховатость поверхности | <2> | <2> | <2> | |
Загрязнение, частицы @> 0,3 мкм | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Дымка, ямы, апельсиновая корка | Никто | Никто | Никто | F523 |
Видел следы, страты | Никто | Никто | Никто | F523 |
Критерии обратной стороны | ||||
Трещины, гусиные лапки, пильные следы, пятна | Никто | Никто | Никто | F523 |
Состояние поверхности | Едкий травленый | F523 | ||
Description Описание продукта 】
Линейка продуктов Microelectronics включает подложки с односторонней полировкой (SSP) и с двухсторонней полировкой (DSP). Двухслойные полированные пластины обычно требуются в полупроводниковых, MEMS и других приложениях, где требуются пластины с жестко контролируемыми характеристиками плоскостности.
Мы также предлагаем прямоугольные и квадратные вафельные изделия. Практически реализуемый диапазон длин кромок для кремниевых пластин составляет 5 x 5 мм2 ... 100 x 120 мм2 и т. Д. Стоимость / размер пластины зависит от материала, а также от количества требуемых частей пластины.
В соответствии с вашими требованиями также доступны индивидуальные нарезки и полировки. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.
Features Особенности продукта 】
· 4 "тип P / N, полированная кремниевая пластина (25 шт.)
· Ориентация: 100
· Удельное сопротивление: 0,1 - 40 Ом · см (может варьироваться от партии к партии)
· Толщина: 525 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
горячая этикетка : Вафля 4 дюйма (100 мм), Китай, поставщики, производители, завод, сделано в Китае
