Введение продукта
Свойства материала
Параметр | Характеристика | Метод управления ASTM |
Тип/Добанта | P, Boron N, фосфор N, сурьма N, мышьяк | F42 |
Ориентации | <100>, <111>Вырезать ориентации на спецификации клиента | F26 |
Содержание кислорода | 1019 Пользовательские допуски PPMA на спецификацию клиента | F121 |
Содержание углерода | < 0.6 ppmA | F123 |
Устойчивости щедро | 0.001 - 50 ohm cm | F84 |
Механические свойства
Параметр | Основной | Монитор/ тест а | Тест | Метод ASTM |
Диаметр | 300 ± 0,2 мм | 300 ± 0,2 мм | 300 ± 0,5 мм | F613 |
Толщина | 775 ± 20 мкм (стандарт) | 775 ± 25 мкм (стандарт) 450 ± 25 мкм 625 ± 25 мкм 1000 ± 25 мкм 1300 ± 25 мкм 1500 ± 25 мкм | 775 ± 50 мкм (стандарт) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Поклон | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Сворачивать | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Край округление | Semi-Std | F928 | ||
Маркировка | Только первичный полуфлат, Semi-Std Flats Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
Качество поверхности
Параметр | Основной | Монитор/ тест а | Тест | Метод ASTM |
Критерии передней стороны | ||||
Поверхностное состояние | Химический механический полирован | Химический механический полирован | Химический механический полирован | F523 |
Шероховатость поверхности | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Дымка, ямы, апельсиновая кожура | Никто | Никто | Никто | F523 |
Видели отметки, полосы | Никто | Никто | Никто | F523 |
Критерии задней стороны | ||||
Трещины, Crowsfeet, Saw Barks, пятна | Никто | Никто | Никто | F523 |
Поверхностное состояние | Каустик затратывался | F523 | ||
Описание продукта
Идеально подходит для приложений Microfluidics . Для приложений Microelectronics или MEMS, пожалуйста, свяжитесь с нами для подробных характеристик .
В то время как полупроводниковые устройства продолжают сокращаться, становится все более важным, чтобы вафли имели высокое качество поверхности как на их передней, так и на задней стороне ., в настоящее время эти пластики наиболее распространены в микроэлектромеханических системах (MEMS), склеивание пластин, кремниее на изолято полупроводниковая промышленность и стремится найти долгосрочные решения для всех требований клиента .
Большой запас с двумя боковыми полированными пластинами во всех диаметрах пластин в диапазоне от 100 мм до 300 мм ., если ваша спецификация не доступна в нашем инвентаре, мы установили долгосрочные отношения с многочисленными поставщиками, которые способны к производству производства, чтобы соответствовать любым уникальным спецификациям . Double -Polder Polder Offers, доступны в других материалах, используются другие материалы, используемые в других материалах. Индустрия .
Настраиваемая набое и полировка также доступна в соответствии с вашими требованиями . Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам .
Особенности продукта
· 12 "типа P/N, полированная кремниевая пластина (25 шт.
· Ориентация: 300
· Удельное сопротивление: 0.1 - 40 ohm • cm (оно может варьироваться от партии к партии)
· Толщина: 775+/-20 um
· Prime/Monitor/Test Grade
горячая этикетка : 12 -дюймовая (300 мм) пластина, Китай, поставщики, производители, фабрика, сделанные в Китае
